四氟化碳 CF42023-03-29

CF4-1

CF4-2

四氟化碳 CF4 Carbon tetrafluoride

分子量：88

危險類別：第2.2類，不燃氣體

UN No.：1982

CAS 注冊號：75-73-0

包裝規(guī)格：4L/8L/40L/50L/氣瓶組

四氟化碳氣體用途：四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。